Розвиток чистих приміщень
Невеликі чисті приміщення і сьогодні діють за схожим принципом, єдине, що змінилося – це більш точні розрахунки потік повітря об’ємом і тиску. При класифікації “чистих” приміщень сьогодні використовуються параметри, що показують кількість зважених у повітрі часток. Для забезпечення точного функціонування таких систем застосовуються РРВ – регулятори витрати повітря – вентиляційні установки, пристрої для повітрозабору і розподілу повітря, фільтри і датчики. Найчастіше в чистих приміщеннях високого класу встановлені антистатичні фальшполи. В такі фальшполи вбудовані дифузори, тобто вентиляційні решітки, які підвищують односпрямованість потоку повітря. Постійний розвиток мікроелектронних компонентів і невпинне зменшення їх фізичних розмірів призводить до того, що вимоги до приміщення чистим невпинно зростають. Для їх функціонування необхідні все більш точні датчики і регулятори витрати повітря, все більш просунуті системи фільтрації і заземлення, все більш високі вимоги пред’являються і до персоналу. Таким чином, сьогодні проектування та забезпечення роботи чистих приміщень стають цілою галуззю науки.
