Попередник
Такий мікроскоп під назвою Topografiner був винайдений Расселом Янгом і його колегами в період з 1965 по 1971 рік у Національному бюро стандартів. В даний час це Національний інститут стандартів і технологій. Цей мікроскоп працює за принципом, згідно з яким лівий і правий п’єзо-драйвери сканують наконечник над і трохи вище поверхні зразка. Центральний пьезоуправляемый серверний привід управляється серверною системою для підтримки постійної напруги. Це призводить до постійного вертикального поділу між наконечником і поверхнею. Електронний помножувач знаходить крихітну частку тунельного струму, яка розсіюється на поверхні зразка.
Схематичний вигляд
Пристрій тунельного мікроскопа включає наступні компоненти:
- скануючий наконечник;
- контролер для переміщення наконечника від однієї координати до іншої;
- систему віброізоляції;
- комп’ютер.
Наконечник часто виготовляється з вольфраму або платини-іридію, хоча також використовується золото. Комп’ютер застосовується для поліпшення зображення з допомогою його обробки і для виконання кількісних вимірювань.
