Мезотаксия
Це термін для зростання кристаллографически збігається фази під поверхнею основного кристала. У цьому процесі іони імплантуються з досить високою енергією і дозою в матеріал для створення шару другої фази, а температура регулюється таким чином, щоб структура мішені не руйнувалася. Кристалічна орієнтація шару може бути спроектована так, щоб відповідати мети, навіть якщо точна постійна решітки може сильно відрізнятися. Наприклад, після імплантації іонів нікелю в кремнієву пластину можна вирощувати шар силіцидів, в якому орієнтація кристалів збігається зі значеннями кремнію.
Застосування в металевій обробці
Азот або інші іони можуть бути імплантовані в мішень з інструментальної сталі (наприклад, свердла). Структурна зміна провокує поверхневе стиснення в матеріалі, що запобігає поширенню тріщин і, таким чином, робить його більш стійким до руйнування.
