Повітря – це те, без чого неможливо уявити наше життя. Ми не могли б існувати без нього. Однак для деяких технологічних процесів повітря являє справжню небезпеку. Як і чому – спробуємо розібратися.
Суть проблеми
Як відомо, в повітрі містяться мікроскопічні частинки пилу і бруду, хімічні сполуки і частинки аерозолів, мікроорганізми і багато іншого. І хоч у повсякденному житті для нас це не представляє загрози, за винятком випадків, коли концентрація шкідливої речовини перевищує норми багаторазово, для виробництва ліків, для приміщень з хворими, і, найголовніше, для виробництва мікросхем всі ці дрібні частинки несуть серйозну небезпеку. Потрапила на мікросхему в процесі виробництва, навіть єдина порошинка може зіпсувати її і відправити в утиль. Так що ж робити і як з цим боротися?
Історія виникнення чистих приміщень
Ще в 1860 році виникла ідея про приміщенні, де шкідливих часток у повітрі буде мінімальна кількість. Тоді, зрозуміло, мова йшла не про мікросхемах, а про хворих, яким контакт із забрудненим повітрям при операції міг нашкодити. До того, щоб створити регулятор витрати повітря або надлишковий тиск у сусідньому приміщенні, ще не доходило, але перші спроби управління параметрами потік повітря об’ємом були зроблені вже в ті часи. З часом технології розвивалися, і до двадцятого століття прийшли до найбільш логічного їх застосування – облаштування невеликого стерильного приміщення з встановленою вентиляцією, фільтрами для очищення повітря і воздухопотоками, що забезпечують його невпинну циркуляцію, а також ізолюючої одягом для персоналу.
